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中国科学院上海微系统所研制出超小型双通道集成二氧化碳红外气体传感器（图）
系统 集成 气体 传感器
2024/11/8
2024年11月7日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李铁团队在超小型二氧化碳（CO₂）气体传感器研制方面取得进展。该团队制备的传感器具有尺寸小、功耗适中、性能稳定、成本低以及在中红外波段发光效率高等特点，具备良好的抗湿性、稳定性和可重复性，在可穿戴呼吸监测应用中具有应用前景。相关研究成果以Ultra-compact dual-channel integrated CO...
中国科学院上海微系统与信息技术研究所在硅纳米线传感器研究取得进展（图）
硅纳米 传感器 晶体管
2024/8/20
硅纳米线场效应晶体管（SiNW FET）是一种超灵敏、无标记的生物传感器。然而，硅纳米线的纳米级制造工艺和表面功能化的不一致性导致了传感器之间的差异。考虑到SiNW FET传感器的饱和响应与其特征尺寸和表面功能化之间具有强相关性，中国科学院上海微系统与信息技术研究所李铁课题组提出了一种将SiNW FET的传感原理与Langmuir-Freundlich模型相结合的校准策略。通过将SiNW FET传...
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术实验室在薄膜荧光传感器研究方面取得重要进展。该工作为制备优异的薄膜荧光传感器提供了一种有效的策略，并对荧光传感与气体吸附的协同过程进行实验验证与理论计算阐释。
上海微系统所在IEEE MEMS 2024国际会议中再创佳绩（图）
微纳传感器 微纳加工 集成
2023/12/2
MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术，该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS（IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems），每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行，至今已举办36届。该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议，主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。
上海微系统所在无人系统的多传感融合技术方面取得进展（图）
传感器 系统感知
2023/12/2
2023年11月20日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所李嘉茂研究员的研究团队在无人系统视-惯多传感器校准方面取得了重要进展。研究团队通过模拟人体视觉与前庭觉，成功提出一种基于流形传播模型的多传感器校准方法，并在基于视觉惯性里程计（Visual-Inertial Odometry, VIO）的无人车定位导航应用上完成了验证。相关成果以题目为“Fast Extrinsic Calibration...
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研制出微型高精度集成钻石量子电流传感器（图）
微型 钻石量子 电流传感器
2023/10/16
电动汽车、智能电网、高速列车等新兴工业应用的快速发展，对高精度的电流传感器提出了更高要求。与传统电流传感器相比，基于量子效应的传感装置可以利用量子态操控技术来提高测量的精度。这些优势使得基于量子效应的电流传感器在各种应用中具有广泛的应用前景。
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室采用微纳加工技术，制备了一种基于氮空位（NV）色心的微型光电一体化集成钻石量子磁传感器。5月9日，相关研究成果以Amicrofabricatedfiber-integrated diamond magnetometer with ensemble nitrogen-vacancy centers为题，发表在Applied Physic...
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李昕欣团队采用基于MEMS芯片的气相原位透射电镜（TEM）表征技术，探究了Pd-Ag合金纳米颗粒催化剂在MEMS氢气传感器工况条件下的失效机制（图1）。2022年4月13日，相关研究成果作为Supplementary Cover论文，以In Situ TEM Technique Revealing the Deactivation Mechanism...
瞬态可溶存储器是皮肤电子与可植入器件中的重要组成部分和信息存储媒介，器件在实现可控降解的同时还需具备稳定的存储和加密功能。随着传感器集成种类和数量的飞速增长，目前瞬态可溶存储器的存储性能很难满足多种信息类型、高信息量存储等要求，亟需从存储器机理、材料和结构方面寻求进一步的突破。
中国科学院上海微系统与信息技术研究所用研制的原位TEM构效关联MEMS表征芯片技术揭示了氧化锌纳米线的纳米尺度效应（图）
原位TEM构效 MEMS 表征芯片技术 氧化锌纳米线 纳米尺度效应
2021/3/19
近日，中科院上海微系统所传感技术国家重点实验室李昕欣课题组首次采用原位电镜（TEM）观测技术并结合热力学参数测量验证，从原子级层面揭示了氧化锌纳米线纳米尺度的构效关系机理。相关成果以“Quantitative Structure–Activity Relationship of Nanowire Adsorption to SO2 Revealed by In Situ TEM Technique...
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员丁古巧课题组提出了通过结构化设计减少石墨烯与高分子接触面积来提高灵敏度的策略。他们利用石墨烯/聚偏氟乙烯/聚氨酯DMF体系在水相的相分离过程，制备了高分子纳米球修饰的石墨烯多孔网络纤维，这种结构大幅增强了该纤维在发生形变时石墨烯片层之间的结构变化，从而实现石墨烯基纤维灵敏度的显著提高。其灵敏度因子值在0-5%应变时为51，在5-8%应变时达到87，通过编织...
秀丽隐杆线虫作为一种遗传背景清晰、全基因组测序完成、个体结构简单的模式生物，在遗传与发育、衰老与寿命、药物筛选等方面有重要应用。在这些应用中，处于不同生长期线虫的精确分选是非常重要的环节。该研究通过集成电阻抗谱微流控系统来实现线虫的生长期检测和自动分选，解决了传统手动挑选的费时低效、高误差率等弊端。本系统通过微电极对流经检测区域的线虫进行电阻抗谱实时测量分析，根据线虫长度与阻抗信号的相关性，实现对...
中国科学院上海微系统所等在晶圆级高精度瞬态生物光刻研究中获得进展（图）
中国科学院上海微系统所 晶圆级 高精度 瞬态生物 光刻
2017/9/20
近日，中国科学院上海微系统所传感技术国家重点实验室陶虎课题组，联合复旦大学附属华山医院神经外科、江苏科技大学蚕业研究所等研究机构的科研人员，开发出对紫外光敏感且分子量均一的蚕丝蛋白轻链溶液，并基于该溶液，结合传统紫外光刻工艺，实现了晶圆级高精度绿色瞬态生物光刻。相关成果以Precise Protein Photolithography (P3): High Performance Biopatte...
2014年11月5至8日，第二届超导传感器和探测器国际研讨会（2nd International Workshop on Superconducting Sensors and Detectors (IWSSD2014)）在上海微系统所圆满召开，来自全球7个国家74名代表参加了本次研讨会，其中国外代表有36人。
上海微系统所举办“新微技术论坛”第七期（图）
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 生化传感技术战略 研讨会
2014/10/8
2014年9月25日，第七期“新微技术论坛——生化传感技术战略研讨会”在中国科学院上海微系统与信息技术研究所举行，来自学术界和产业界的多位专家学者参加了本次研讨，上海市科委、上海新微电子有限公司代表也应邀出席了本次会议。