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Plasma processing is an essential tool for making the latest optoelectronic devices. From dry etching of laser facets to high density passivation understanding how the plasma can effect your device is...
It is our great pleasure to announce that the 14th International Conference on Plasma Based Ion Implantation & Deposition, PBII&D 2017 will be held at the banqueting hall on the third floor of New Wo...
期刊信息 篇名 Pulsed Plasma Deposition c-BN Thin Films on Silicon Substrate 语种 英文 撰写或编译 撰写 作者 闫鹏勋,杨思泽 第一作者单位 中国科学院物理研究所 刊物名称 Phys. Stat. Sol. 页面 1994.145.K29 出版日期 1994年 4月 日 文章标识(ISSN) 相关项目 高能量密度等离子体法制备立方氮化...

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