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薄膜谐振Lamb波传感器测量液体流速矢量的方法
薄膜谐振型Lamb波传感器 消逝波 反对称模式 流速矢量测量
2017/2/27
针对液体流速测量领域中微型流量传感器高品质因数、高灵敏度的性能要求。本文设计一种双端增强型薄膜谐振结构实现Lamb波传感器的高品质因数，利用传感器反对称模式（A01模式）在薄膜-液体界面处的消逝波实现液体流速矢量测量。所制作的双端增强型薄膜谐振Lamb传感器A01模式的主峰品质因数为703，A01模式的频率移动量与液体流速大小存在线性关系，频率移动方向与液体流动方向存在对应关系。流速实测灵敏度约为...