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科研成果名称：大面积扫描探针显微镜(LS-SPM)
科研成果研究人：陆祖宏
成果简介
本项目是国家九五重点科技攻关计划专题"微电子工业用大面积扫描探针显微镜的研制"（专题编号：96745-03-01）。它是在研制出原子力显微镜的基础上, 通过大范围工作台和微动工作台的组合, 对大尺寸样品(如集成电路芯片)实现原位测量, 使之可直接运用于微电子等工业研究领域。
该项目于2000年1月29日通...