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清华大学新闻中心2006年5月10日讯 日前,清华大学电子工程系2003级硕士研究生杨勇的论文“矩形靶磁控溅射中的拐角效应:蒙特卡罗模拟及实验研究”(Cross corner effect in rectangular magnetron sputtering:Monte Carlo simulation and experimental verification)被选为国际真空镀膜学会(Soc...

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