英文刊名：Journal of Vacuum Science and Technology
出版频率：双月刊
刊物简介：该刊向真空科学与技术领域及相关学科从事科学研究、高等教育和高科技应用的学者、专家和专业技术人员报道真空科学与技术理论、薄膜物理与工艺、表面与界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等真空科学领域的科研成果及应用成果。设有特约稿、学术论文、综述评论、技术交流、工业应用、科技简报、成果快讯、学术活动等栏目。被EI、CA、INSPEC等数据库收录。